Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Сергей Юрчук
Учебная литература.
Информация о книге
Название
Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами
Год выпуска
2013
isbn
Автор произведения
Сергей Юрчук
Жанр
Учебная литература
Серия
Издательство
МИСиС