Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Геннадий Кузнецов
Техническая литература.
Информация о книге
Название
Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций
Год выпуска
2012
isbn
Автор произведения
Геннадий Кузнецов
Жанр
Техническая литература
Серия
Издательство
МИСиС