ТОП просматриваемых книг сайта:
Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Аскер Кушхов
Техническая литература.Информация о книге
Название Элионная технология в микро- и наноиндустрии
Год выпуска 2008
isbn
Автор произведения Аскер Кушхов
Издательство МИСиС
Аннотация
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.