Основы радиационных технологий. Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+–p–p+(p+–n–n+)-типа. Владимир Астахов
Техническая литература.
Информация о книге
Название
Основы радиационных технологий. Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+–p–p+(p+–n–n+)-типа
Год выпуска
2007
isbn
Автор произведения
Владимир Астахов
Жанр
Техническая литература
Серия
Издательство
МИСиС