ТОП просматриваемых книг сайта:
Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра. Наталья Макушина
Учебная литература.Информация о книге
Название Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
Год выпуска 2006
isbn 5-7038-2926-7
Автор произведения Наталья Макушина
Жанр Учебная литература
Аннотация
Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника». Ил. 17. Табл. 8.