Аннотация

В курсе лекций содержатся современные представления о технологиях химического газофазного осаждения защитных покрытий. Описаны физикохимические основы газофазного синтеза функциональных слоев различного назначения, показаны способы формирования защитных коррозионностойких и износостойких покрытий. Представлен фторидный метод получения покрытий на основе вольфрама, его сплавов и соединений.