LITMIR.BIZ

Скачать книгу

      Abstract: The paper presents the results of a study of the effect of laser radiation on the kinetic characteristics of polycrystalline films of narrow-band semiconductors of lead and bismuth chalcogenides. The results of measurements of conductivity, hole concentration and thermal EMF coefficient in films under the influence of laser pulses are presented.

      Keywords: polycrystalline film, laser radiation, lead and bismuth chalcogenides, conductivity, carrier concentration, thermo-EMF coefficient.

      Лазерная обработка, нанесённых на подложку тонких пленок применяется для формирования пленочных элементов, широко используемых в приборостроении и микроэлектронике. Лазерная обработка тонких пленок отличается высокой точностью и локальностью, бесконтактностью, хорошей управляемостью и в большинстве случаев достаточной производительностью. В современной технологии полупроводниковых приборов все большое значение приобретают методы обработки материалов c использованием ионизирующих излучений [1]. Особое внимание уделяется модификации свойств слоев под действием коротких лазерных импульсов, когда наряду с обыкновенным тепловым разогревом пленок, возможно влияние факторов, имеющих нетепловую природу.

      Физические механизмы действия лазерного излучения на тонкие пленки во многом аналогичны действию излучения на массивные материалы, но обладают некоторыми особенностями.

      В настоящей работе приведены результаты исследований влияния g-радиации и лазерного облучения на кинетических коэффициенты поликристаллических плёнок узкозонных полупроводников. Объектами исследований явились поликристаллические слои халькогенидов свинца и висмута и их соединения полученных термовакуумной конденсацией в различных технологических условиях. Подложками служили кварц, полиимид (ПМ-1) и слюда. Толщина полученных плёнок составляла 0,3¸4 мкм. Облучение плёнок производилось g-квантами Со⁶⁰ и промышленным лазером ГИГ-1М (D=15Дж, t_имп=50 нс) на воздухе и в вакууме. Проведены измерения электропроводности, коэффицента Холла и термоэдс.

      Проведенные электронно-микроскопические исследования показали, что с ростом температуры конденсации размер кристаллитов увеличивается. При воздействии лазерных импульсов плёнок Pb_0.8Sn_0.2Te конденсированных при температуре Т_с=373 К обнаружено, что при энергиях облучения W> 0.15Дж/см² наблюдается нарушение адгезии конденсата с подложкой. В этой связи энергии облучения были меньше указанной величины.

      Надо отметить, что эти энергии также меньше энергии расчетного значения поговой энергии плавления плёнок при лазерной обработке в наносекундном диапазоне, которая составляет 02Дж/см² [1].

      В данной работе приведены исследования влияния лазерного отжига (ЛО) на кинетические свойства поликристаллических пленок Рb_0.8Sn_0.2Te, полученных на полиимидной и слюдяной подложках термовакуумной технологией при различных температурах конденсации [2]. Облучение проводили в режиме модулированной добротности промышленным лазером с рубиновым излучателем (l= 0,69 мкм, t_имп=50 нс). Плотность энергии в лазерном импульсе регулировали путем фокусировки светового пучка. Измерялись кинетические коэффициенты пленок от числа воздействия лазерного импульса. Одновременно изучались структура исходных и облученных пленок с помощью растровой электронной

Скачать книгу