Аннотация

В курсе лекций рассматриваются физические процессы, сопровождающие взаимодействие ионных пучков с твердыми телами. Решаются задачи определения пробега ионов в твердых телах и их распределение. Подробно рассматриваются процессы обратного рассеяния ионов, ионной имплантации, распыления твердых тел ионной бомбардировкой. Детально описываются процессы каналирования ионов в монокристаллических твердых телах и использование этого явления для анализа структуры поверхностных слоев монокристаллов.

Аннотация

Рассматриваются физические процессы, сопровождающие взаимодействие лазерных и электронных пучков с твердыми телами, анализируются решения тепловых задач для случаев их взаимодействия с металлами и полупроводниками, приводятся примеры конкретного решения задач для обработки поверхности металлов закалкой, поверхностным легированием, примеры лазерного отжига полупроводников и др.

Аннотация

Применение лазерных пучков занимает ведущее место в современных технологиях производства новых материалов, приборов и оборудования. Однако, для грамотного использования лазеров нужно знать физические особенности как самих лазеров так и процессов их взаимодействия с твердыми телами. Данное учебное пособие представляет собой курс лекций описывающих основы физики лазерного излучения и предназначен для студентов, специальностей 5401, 0709, 0710.