ТОП просматриваемых книг сайта:
Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы. Аскер Кушхов
Техническая литература.Информация о книге
Название Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы
Год выпуска 2012
isbn
Автор произведения Аскер Кушхов
Издательство МИСиС
Аннотация
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении.